AS200氣體質量流量控制器-氣體質量流量控制器-溫濕度傳感器溫濕度芯片溫濕度變送器模塊氣體傳感器流量傳感器廣州奧松電子股份有限公司

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AS200氣體質量流量控制器

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技術參數

流量規格（N2）	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
準確度	±1.0%S.P.（≥35%F.S.） ±0.35%F.S.（＜35%F.S.）
線性	±0.5%F.S.
重復精度	±0.2%F.S.
響應時間	1sec
最大工作壓力	0.45MPa
工作環境溫度	5~45℃
電源	±15VDC (雙極)或 +15～ +28 VDC (單極)
重量	0.95Kg

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一、產品簡介

AS200系列氣體質量流量控制器，為氣體質量流量的控制、測量提供了高準確度及高可靠性。該型產品可支持數字信號，0～5V 模擬信號，4～20mA或 0~20mA 模擬信號，可以使用雙電源（±15VDC）或單電源（+15～+28 VDC）。支持自動故障報警，多氣體多量程等功能。標準開放的通訊協議為客戶自行開發控制、采集軟件提供便利。提供功能強大的免費客戶端上位機軟件。

除了標準品外，AS200氣體質量流量控制器還可定制100SLM和200SLM量程范圍的產品，具體參數信息見下表：

AS200氣體質量流量控制器

二、產品亮點

● 可同時支持數字信號，0～5V 模擬信號，4～20mA或 0~20mA 模擬信號

● 使用雙電源（±15 VDC）或單電源（+15～+28 VDC）

● 支持自動故障報警，多氣體多量程等功能

三、應用場景

氣體質量流量控制器（AS200系列）用于對氣體的質量流量進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 集成電路工藝設備, 如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設備、光纖熔煉設備、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及其它分析儀器。

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